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清洗:采用等离子清洗,无有机物残留,改善成像质量; 均匀性:减少了不同区域的不均匀性; 稳定性: 耐高温,>1000℃; 良好的化学稳定性:图像分辨率和机械强度达到理想的平衡; 化学计量比的SiO2:可用于氮气环境下

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